面板級晶圓盒用半自動手推車(PGV)
半自動手推車
［產業類別］
半導體
［說明］
PGV (Person Guided Vehicle)是透過高精密可控馬達驅動滾珠螺桿操作升降動作進行取放符合SEMI規範信越Panel FOUP，人員透過操作按鈕控制動作進行，將符合SEMI規範(E181.1 & E181.2)的信越Panel FOUP移載至Load port端的承接口。
［用途範例］
● Panel FOUP運輸
［特點］
● 以SEMI標準(standard)S2/S8為準則所設計
● 插拔式可替換電池
● 使用抗靜電的橡膠車輪，後輪具有避震效果
● 可提供定期保養檢驗
● 可配合客製化需求
［樣式］
● 可承載510mm*515mm 或 600mm*600mm尺寸Panel FOUP<